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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細(xì)說明
配備 MonOVAT 的 02.4 大型輸送閥專為滿足高真空條件下有機(jī)材料氣相沉積系統(tǒng)的特殊要求而開發(fā)。02.4 專為高循環(huán)生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計，結(jié)合了出色的快速運(yùn)動時間和對工藝相關(guān)沉積物的抵抗力，這些沉積物會限制標(biāo)準(zhǔn)閥門的性能。02.4 的設(shè)計目標(biāo)是在*次建議的維修檢查之前實現(xiàn) 100 萬次循環(huán)的不間斷性能。
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