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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細說明
INFICON Transpector? 單壓采樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標高壓工藝提供*佳的半晶圓和顯示面板保護。Transpector SPS 通過針對單壓力應(yīng)用的*靈敏的空氣泄漏和工藝污染檢測，*大限度地減少晶圓和面板廢料。它提供業(yè)界**的檢測限和測量速度，以確保晶圓和面板輸出的質(zhì)量和數(shù)量。
Transpector SPS 通過為穩(wěn)定的高壓過程提供*可靠的過程監(jiān)控，*大限度地提高過程吞吐量和產(chǎn)量。該儀器將簡單且具有成本效益的入口系統(tǒng)與經(jīng)過現(xiàn)場驗證的離子源和泵套件相結(jié)合，提供低風(fēng)險和高回報的氣體分析解決方案。Transpector SPS 是*般真空和工業(yè)應(yīng)用的理想選擇，是真空電弧重熔 (VAR) 等冶金和熱處理應(yīng)用的成熟解決方案。Transpector SPS 是可配置的，并且可以根據(jù)特定應(yīng)用和預(yù)算進行定制。可選擇標準孔板、毛細管和旁通管線組合來采樣從 1E-4 Torr 到大氣的過程壓力。
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