模塊化且靈活的多探測(cè)器配置。
特征
可根據(jù)應(yīng)用要求進(jìn)行預(yù)配置:即用型設(shè)備。
用于多種痕量雜質(zhì)測(cè)量的獨(dú)立儀器。
多種檢測(cè)器:PED、TCD 和 FID。
寬測(cè)量范圍涵蓋亞 ppb 到百分比測(cè)量。
氬氣、氦氣或氮?dú)廨d氣的 PPB 靈敏度 (PlasmaDetek)
易于使用和維護(hù),配有大觸摸屏界面、鍵盤(pán)連接和易于訪問(wèn)的面板。
以太網(wǎng)連接允許遠(yuǎn)程操作。