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產品詳細說明
也稱為濺射離子泵或離子吸氣泵，是使用陽 /陰 陣列電離氣體的捕獲泵。離子濺射反應性陰 材料，產生將電離氣體轉化為固體化合物的化學反應。這些化合物不再有助于真空系統的壓力，并被永久捕獲在離子泵內。離子泵可以在 10-5 到 10-12 mbar 的范圍內運行，氮氣的大小范圍為 0.2 到 1,200 l/s。
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