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產品詳細說明
美國ACM RESEARCH 無應力拋光設備
主要優勢
工藝過程低應力
低耗材成本COC和運營成本COO
低排放可保護環境
特性和規格
整合了無應力拋光、化學機械研磨、濕法刻蝕、干法刻蝕工藝
電拋光液和濕法刻蝕液可實時循環使用
減少化學和耗材使用量
設備尺寸（mm）：4100(長)*2600(寬)*2650(高)
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