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產品詳細說明
配備 MonOVAT 的 02.4 大型輸送閥專為滿足高真空條件下有機材料氣相沉積系統的特殊要求而開發。02.4 專為高循環生產系統而設計，結合了出色的快速運動時間和對工藝相關沉積物的抵抗力，這些沉積物會限制標準閥門的性能。02.4 的設計目標是在*次建議的維修檢查之前實現 100 萬次循環的不間斷性能。
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