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產(chǎn)品詳細說明
Guardian 可以將沉積速率控制在 0.1 至 10,000 ?/s 之間。它可操作*或兩個傳感器、*多 8 個光學(xué)輸入并控制*多 8 個沉積源，從而實現(xiàn)*多 8 種材料的共沉積。
INFICON Guardian 非常適合光伏模塊、OLED、光伏、超導(dǎo)薄膜和 MBE 制造等應(yīng)用。
Guardian 共沉積系統(tǒng)基于電子碰撞發(fā)射光譜 (EIES)。使用 EIES，沉積的材料被熱離子發(fā)射器激發(fā)，從而產(chǎn)生光子。產(chǎn)生的光穿過濾光片到達光電倍增管 (PMT) 檢測器，該檢測器測量通過波長的發(fā)射強度。然后，INFICON Guardian 控制器會生成*個信號來控制該材料的來源。帶有適當濾光片的附加檢測器可用于多種材料。
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