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產(chǎn)品詳細說明
我們的EXTREL? VeraSpec?大氣壓電離質(zhì)譜儀(APIMS)專為半導體和其他高科技工業(yè)應(yīng)用中使用的超高純(UHP) 氣體的污染控制而設(shè)計，可實現(xiàn)可靠且可重復的萬億分之*低檢測限。
污染的代價高昂，20 多年來，APIMS *直是氣體混合物低含量成分在線檢測的研究和工業(yè)標準。我們的 VeraSpec APIMS 在半導體氣體分析中采用19mm 三濾四*桿質(zhì)量過濾器，以實現(xiàn)*佳性能、可靠性和正常運行時間。
適用于散裝氣體分析的行業(yè)*佳檢測下限 (LDL)
對散裝氣體中的所有關(guān)鍵雜質(zhì)進行實時多物種監(jiān)測，包括微量 O 2、H 2、H 2 O、CH 4、CO、CO 2、Xe 等
完善、強大的質(zhì)譜技術(shù)
無與倫比的測量范圍，從 PPT 到 100%，具有獨特的雙源電離配置
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