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產品詳細說明
緊湊、經濟**的集成發生器和固態匹配射頻功率傳輸系統
Advanced Energy 的 Paramount HFi 是*種 13.56 MHz 射頻功率傳輸系統，具有集成的固態匹配網絡，能夠在各種阻抗區域運行。該解決方案提供*致的電力傳輸、高功率密度和卓越的可靠性。
通過將集成系統直接安裝到腔室上來*大限度地減少占地面積
通過 32 個調諧范圍位置在寬阻抗區域實現可重復的功率傳輸
由于沒有活動部件，因此具有高可靠性和可重復性
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