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產品詳細說明
由于快速訪問緩沖區縮短了訪問時間
操作員和 AMHS 可通過獨立的手動和 OHT 裝載端口同時訪問
市場上 高的存儲密度
自動化標線管理和可追溯性
增加掃描儀/光刻單元的正常運行時間
降低標線返工成本
保護掩模免受化學污染、霧霾和晶體生長
增加曝光次數以延長光罩壽命
高存儲密度
全自動光罩處理
可靠、安全的處理，減少光罩和薄膜損壞
低擁有成本 (COO) 更多»本企業其它產品
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