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產(chǎn)品詳細說明
Brooks Instrument電容壓力計XacTorr系列
大限度降低漂移和熱效應。 大限度優(yōu)化真空處理結(jié)果
型號 CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3
使真空依賴型工藝的效率和性能 大化：選擇布魯克斯儀器的 XacTorr® 系列數(shù)字式真空電容壓力計。XacTorr® 系列設(shè)備同時擁有各種業(yè)內(nèi) 的功能技術(shù)，可提升測量可靠性、 大限度減少漂移、耐隔膜污染并能夠使熱效應 小化。
進的 Mark-IV 傳感器提供不用于壓力測量的表面區(qū)域 – 可用于累積顆粒和可壓縮蒸汽。因此減少了儀表重新調(diào)零的工作、延長了傳感器壽命并且不會帶來傳感器漂移風險。此外，還有快速響應傳感器可供選擇，用于提供高 閉環(huán)控制性能。
結(jié)果：超精確、可重復并且**的真空度測量，可確保每次對倉室壓力進行抽真空時都能夠準確使其達到工藝所需的目標 Torr 值以實現(xiàn)潔凈、無污染生產(chǎn)。
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