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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細(xì)說明
在原*2011年7月發(fā)布的FPA-5510iV基礎(chǔ)上，佳能新推出了提供更高解析度以及高疊加精度的FPA-5520iV i線步進(jìn)式光刻機。新型FPA-5520iV光刻機提供的改進(jìn)功能，可以實現(xiàn)提高生產(chǎn)力所需的例如晶圓*封裝技術(shù)（FOWLP）以及通過更高集成度和更薄封裝，從而降低半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)成本。
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