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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細(xì)說明
產(chǎn)品描述
可進(jìn)行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等
產(chǎn)品特點(diǎn)
高密度等離子源，等離子效率高，減少制程時(shí)間
專利設(shè)計(jì)之特殊等離子電*
特殊之氣體進(jìn)氣、擴(kuò)散及抽氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)
處理之均勻性佳
等離子均勻性佳
可使用多種制程氣體
全自動(dòng)且容易操作
設(shè)備穩(wěn)定高，容易維護(hù)
可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)專用特殊規(guī)格之機(jī)臺
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